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요꼬가와의 MT 시리즈 디지털 압력계는 실리콘 공진 센서를 탑재하여 탁월한 장기 안정성을 자랑하며, 제조, 연구 개발, 교정 등 다양한 산업 분야에서 널리 사용되고 있습니다. .

MT 시리즈 디지털 압력계는 일본 국가 계측 기관에서 국가 압력 표준의 국제 비교를 위한 전달 표준으로 선정되기도 했습니다. 그러나 선형성 개선의 여지는 여전히 존재합니다. 이에 요꼬가와는 일본 국가 계측 연구소(NMIJ) 및 일본 국립 산업과학기술연구소(AIST)와 공동 연구를 통해 새로운 조정 방법을 개발하고 이를 신형 MT300 디지털 압력계에 적용했습니다. 본 논문에서는 이 조정 방법과 NMIJ/AIST에서 얻은 평가 결과, 그리고 이 방법에 사용된 동기 측정 기술에 대해 기술합니다.

Yokogawa’s MT series digital manometers equipped with a silicon resonant sensor have excellent long-term stability and are widely used in various industries for manufacturing, research and development, and calibration. An MT series digital manometer was selected by national metrology institutes as a transfer standard for the international comparison of national pressure standards. However, there is still room for improving linearity. Yokogawa thus developed a new adjustment method through collaborative research with the National Metrology Institute of Japan, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (NMIJ/AIST) and incorporated it into the new MT300 digital manometer. This paper describes this adjustment method, evaluation results obtained from NMIJ/AIST, and a synchronous measurement technology used in this method.