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SMU(소스 & 메저 유닛)

AQ23011A, AQ23012A 프레임

AQ2300 Series Test Platform

고밀도 테스트 시스템을 구축하기 위한 프레임 

AQ2300 시리즈 프레임은 다양한 모듈의 고밀도 측정을 위한 플랫폼입니다. 3-슬롯과 9-슬롯 유형이 있으며 소규모에서 중간 규모의 다양한 반도체 디바이스의 평가 및 제조 시스템에 최적의 측정 솔루션을 제공합니다. LAN, USB, GP-IB 연결로 원격 제어가 가능합니다. 외부 인터페이스로 트리거 I/O 및 Digital I/O를 선택할 수 있습니다. 

 

외부 인터페이스의 종류와 GP-IB의 유무에 따라 4종류의 라인업이 있습니다.


모델명외부 트리거
I/O 1		외부 트리거
I/O 2		Digital I/OGP-IB
AQ23011A-EDP-N01
AQ23012A-EDP-N01		✓ ✓ 
AQ23011A-EDP-C01
AQ23012A-EDP-C01		✓ ✓✓
AQ23011A-ETP-N01
AQ23012A-ETP-N01		✓✓  
AQ23011A-ETP-C01
AQ23012A-ETP-C01		✓✓ ✓


풀 터치 디스플레이 

버튼 조작 없이 풀 터치 조작이 가능합니다.





원격 제어

LAN(1000BASE-T), USB(Type-C)는 기본 옵션입니다.  GP-IB는 선택 옵션이 됩니다. 



외부 인터페이스

트리거 I/O만 트리거 I/O와 Digital I/O, 2종류 중에서 선택할 수 있습니다(구입 후의 변경은 불가). 



※ Digital I/O사양
외부 기기로부터의 측정 개시 통지, 외부 기기에의 측정 완료 통지를 High 또는 Low의 전압을 이용해 실시하기 위한 인터페이스입니다. 


- I/O 단자: 8포트(3.3V/5V-CMOS),  (입력과 출력, High와 Low의 선택 가능)

- Vcc 단자: 2포트

- GND 단자: 2포트


저장

전면 USB 포트(Type-A), 후면 USB 포트(Type-C)를 이용하여 데이터 불러내기, 저장을 할 수 있습니다.


핫스와프(hot-swap) 

전원 ON인 채로, 모듈의 교환이 가능합니다. 



AQ23811A SMU 2채널/1슬롯



주요 사양  

• 소스 및 측정 범위: ±6V/±600mA

• 싱크 및 측정 범위: ±6V/±200mA, ±2V/±600m

• 전압 정확도: ±0.02%

• 전류 정확도: ±0.03%(20μA ~ 200mA 범위), ±0.05%(최소 및 최대 범위)

• 출력 파형: DC, 펄스(50 μs ~ 1s) 






SMU 채널 간 동기화

9개의 접속용 버스를 갖추고 있어, 같은 동기 타이밍으로 측정을 실시하는 복수의 채널을 하나의 버스에 할당할 수 있어 최대 9조까지의 구분이 가능합니다.




고품질 펄스 파형

50µs~1s의 폭으로 펄스파를 출력할 수 있습니다. (최소주기는 100µs)




스위프 기능

출력 파형에는 DC와 펄스가 있으며, 각각 연속 출력, 선형 스위프, 로그 스위프 및 프로그램 스위프를 제공합니다.




보다 최적화된 응답 조정

오버 슛과 링잉을 줄이기위한 응답 조정 기능을 갖추고 있습니다.

부하에 걸리는 저항(R), 인덕터(L), 커패시터(C)의 값을 입력하는 것만으로 설정이 간단합니다.  


채널간 절연

채널 간과 모듈 간은 절연되어 있습니다. 




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