SMU(소스 & 메저 유닛)

주요 특징

• ● 절연된 2채널 발생 및 측정 기능
• ● 폭넓은 소스 & 메저 레인지
  　　18V 모델 : 7V, 3.2A / 18V, 1.2A
  　　50V 모델 : 20V, 1.2A / 50V, 0.6A
• ● 1pA 분해능의 미세 전류 200nA 범위
• ● 최대 100,000점, 100µs 주기의 임의 파형 발생
• ● 마스터 슬레이브 동기 링크를 통한 채널 확장
• ● 빠른 테스트
• ● 16bit 디지털 입출력 (765602/765612)

                                                                                                                                                                               2채널 디스플레이(256 X 64 dot 매트릭스 화면)

사용 용도

• 기준 DC 전압 전류원
• I/V 커브 트레이서
• 전자 부하
• 반도체 파라메트릭 테스트
• 펄스 전압 전류원
• 프로그래머블 임의 파형 발생
• 저항 측정
• 양부 판정 테스트

발생 및 측정 범위

소스 동작(전류 공급) 및 싱크 동작(전류 흡입)에 의한 4상한 동작이 가능합니다. 출력 분해능 및 측정 해상도는 5.5자리입니다.
용도에 맞추어 2개의 모델 중에서 선택할 수 있습니다.

장비 구성 및 기능

• GS820은 정전압원 Vs와 정전류원 Is, 전압계 Vm과 전류계 Im으로 구성된 2쌍의 아날로그 채널을 갖추고 있습니다
• 각 소스 메저 채널은 절연되어 있습니다
• 
  
• 발생 및 측정 기능: 
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• 전압발생 / 전류측정
• 전류발생 / 전압측정
• 전압발생
• 전류발생
• 전압계
• 전류계
• 저항계
• 
  
• 채널별로 이들을 선택하고 모든 조합으로 사용할 수 있습니다
• 로컬센서, 리모트센서의 전환에 의해, 2선식/4선식의 전압 센싱이 가능합니다

발생(소스)과 측정(메저) 기능의 조합 예

2개의 채널 발생, 측정 기능의 조합을 통해 하나의 GS820으로 다양한 시험 대상에 대응할 수 있습니다.

발생 및 측정 타이밍

소스 측정의 기본 타이밍

GS820에서는 내부 타이머나 외부 입력 신호 등의 트리거 입력을 기점으로 발생과 측정을 실시합니다. 트리거 신호를 입력한 후, 소스 딜레이 시간 경과 후 발생을 시작하고, 메저 딜레이 시간을 경과한 시점에서 소정의 적분 시간에 의한 측정을 실시합니다. 이로써 출력 변경 직후의 불안정한 타이밍을 피할 수 있어 정밀도가 높은 측정이 가능합니다. 측정 적분 시간은 0.001PLC~25PLC ^*2 의 범위에서 설정할 수 있습니다. 또한 측정 후 내부 제로 기준을 측정하고 실시간으로 오프셋 보정을 수행하는 자동 제로 측정 기능을 사용할 수 있습니다. 오토 제로 측정의 적분 시간은 측정 적분 시간의 설정값을 따릅니다.

다양한 트리거 소스에 의한 타이밍 설정

GS820에서는 발생 트리거 소스와 측정 트리거 소스를 별도로 선택할 수 있습니다. 발생 트리거 소스에는 2종류의 정주기 타이머나 외부 신호 입력 등이 있으며, 측정 트리거 소스에는 이들 이외에 소스 변화점이나 스윕 종료점 등이 있습니다. 아래 그림과 같이 발생 트리거와 측정 트리거를 별도로 채널별로 설정할 수 있으므로 다양한 접속 조건이나 타이밍에서의 소스 & 메저에 유연하게 대응할 수 있습니다. 또한 보조 트리거는 외부 신호 및 프로그램 이벤트로 인한 것입니다. 또한 각 채널의 소스 딜레이, 메저 딜레이, 적분 시간을 개별적으로 설정할 수 있습니다.

소스 계수의 비동기 동작

GS820의 다양한 트리거 소스로 발생과 측정을 비동기적으로 수행할 수 있습니다. 아래 그림의 경우 발생을 타이머 1, 측정을 타이머 2의 트리거 소스에 따라 실행하여 1회의 발생에 대해 복수회의 측정을 실현하고 있습니다. 이것에 의해 동작의 차이에 의한 부하 전류의 변동에 대해서도 세밀한 측정이 가능해집니다.

스윕 기능 1

정형 스윕

GS820의 전압 전류 발생부에는 DC 발생 모드와 펄스 발생 모드가 있습니다. 각 발생 모드에는 연속 출력, 리니어 스윕, 로그 스윕과 같은 정형의 스윕 모드가 준비되어 있어 간단한 파라미터 설정에 의해 스윕 동작이 가능합니다. 각 스윕 모드에서는 최소 100µs ^*1 마다 세밀하게 발생값을 변화시킬 수 있습니다.

*1: 이전 항목의 *1 최소 프로그램 주기 참조.

스윕 기능 2

최대 100,000점의 임의 파형 발생, 제어 파라미터의 동시 스윕

GS820은 위의 정형 스윕 기능 외에 사용자 정의 가능한 프로그램 스윕 기능을 갖추고 있습니다.
사용자는 워크시트나 텍스트 편집기에서 최대 100,000점의 임의 파형 데이터(CSV 형식)를 작성 및 편집할 수 있습니다.
또, 소스 레벨 외에 타이밍이나 제어 파라미터를 동시에 스윕할 수 있으므로, 파형 발생 타이밍에 동기한 제어 시퀀스의 실행이 가능합니다.    
또한 프로그램 스윕 모드에서는 최소 100µs ^*2 마다 발생값을 변화시킬 수 있습니다.

*2: 이전 항목의 *1 최소 프로그램 주기 참조.
다만, 기술한 제어 파라미터의 동작 시간은, 이 값에 포함되지 않습니다.

우수한 테스트 속도

생산 라인 테스트에서 택트 타임 향상

GS820은 생산 라인 테스트를 위해 고속 동작을 실현했습니다. 리모트 제어에 의한 테스트 속도(참고값)는 다음과 같습니다.

테스트 속도(참고값)

테스트 시퀀스 만들기

자동검사장치에의 응용

GS820은 생산 라인에서 자동 검사에 적합한 테스트 시퀀스를 만들 수 있습니다. 프로그램 파일에는 발생값, 측정값의 비교 상한값, 비교 하한값, 제어 비트 출력 등 자동 검사에 필수적인 항목을 기재할 수 있습니다. 이 프로그램 파일은 CSV 형식으로 기술할 수 있어 범용 워크시트상에서의 작성·편집 및 열람이 가능합니다. PC로부터의 통신 커맨드에 의한 제어를 실시하지 않아도, 유연한 프로그램 제어가 가능합니다.

채널 확장

마스터 슬레이브 동기 링크로 최대 10채널까지 확장

여러 대의 GS820을 아래 그림과 같이 연결하여 다중 채널 소스 측정값으로 취급할 수 있습니다.
마스터·슬레이브 동기 링크 방식에 의해, 마스터 기기에의 액세스만으로, 접속된 전 채널분의 프로그램 데이터를 설정·수집할 수 있습니다.
마스터기는 슬레이브기에 발생 데이터를 분배 ①, 또한 각 슬레이브기의 측정 데이터를 수집하여 ② 병합합니다.
전용 트리거 신호 라인을 연결하여 모든 채널의 완전 동기화가 가능합니다.

전압·전류의 제로 발생 기능

고속 동작, 채터링 프리 부하 분리

GS820의 제로 발생 기능은 전압/전류의 제로값을 발생함과 동시에 전류/전압 리미터를 제어하여 부하 전류를 제한합니다.
제로 발생 상태에서는 부하에의 전압인가나 전류 공급을 정지함으로써, 출력 릴레이를 ON 상태로 한 채로 DUT(시험 대상)의 분리가 가능합니다.
본 기능을 이용함으로써, 출력 릴레이의 채터링이나 접점 수명의 문제를 회피할 수 있고, 또한 출력 ON/OFF의 동작 시간을 단축할 수 있습니다.

PC와의 호환성